廢液焚燒裝置是經過VOC回收系統得到的液態有機溶劑進入溶劑儲罐當中，廢液泵將溶劑從溶劑儲罐當中抽出，泵入燃燒系統，輔助能源提供點火，鼓風機鼓入助燃空氣，廢液得以在燃燒系統充分燃燒，燃燒后產生的高溫煙氣(850℃)進入導熱油爐對導熱油進行加熱，降溫后的煙氣經由排風風機和煙囪達標排入環境當中。導熱油儲罐當中的低溫導熱油經由導熱油泵進入導熱油爐中，被高溫煙氣加熱至200℃左右，然后進入冷凝器冷凝成低溫的導熱油，同時放熱給冷凝器另一通道的新風，導熱油進入導熱油儲罐當中供下一次的循環。